Tricloruru di boru (BCl3)hè un cumpostu inorganicu cumunimenti adupratu in i prucessi di incisione secca è di deposizione chimica da vapore (CVD) in a fabricazione di semiconduttori. Hè un gasu incolore cù un forte odore pungente à temperatura ambiente è hè sensibile à l'aria umida perchè s'idrolizza per pruduce acidu cloridricu è acidu boricu.

Applicazioni di u Tricloruru di Boru

In l'industria di i semiconduttori,Tricloruru di boruhè principalmente adupratu per l'incisione secca di l'aluminiu è cum'è dopante per furmà regioni di tipu P nantu à i wafer di siliciu. Pò ancu esse adupratu per incidere materiali cum'è GaAs, Si, AlN, è cum'è fonte di boru in certe applicazioni specifiche. Inoltre, u tricloruru di boru hè largamente adupratu in a trasfurmazione di i metalli, l'industria di u vetru, l'analisi chimica è a ricerca di laburatoriu.

Sicurezza di u Tricloruru di Boru

Tricloruru di boruhè currusivu è tossicu è pò causà danni serii à l'ochji è à a pelle. S'idrolizza in aria umida per liberà gasu di cloruru d'idrogenu tossicu. Dunque, devenu esse prese misure di sicurezza adatte quandu si manipula.Tricloruru di boru, cumprese l'usu di vestiti protettivi, occhiali è equipaggiamenti di prutezzione respiratoria, è l'operazioni in un ambiente ben ventilatu.