Tricloruru di boru (BCl3)hè un cumpostu inorganicu cumunimenti adupratu in i prucessi di incisione secca è di deposizione chimica da vapore (CVD) in a fabricazione di semiconduttori. Hè un gasu incolore cù un forte odore pungente à temperatura ambiente è hè sensibile à l'aria umida perchè s'idrolizza per pruduce acidu cloridricu è acidu boricu.

Applicazioni di u Tricloruru di Boru

In l'industria di i semiconduttori,Tricloruru di boruhè principalmente adupratu per l'incisione secca di l'aluminiu è cum'è dopante per furmà regioni di tipu P nantu à i wafer di siliciu. Pò ancu esse adupratu per incidere materiali cum'è GaAs, Si, AlN, è cum'è fonte di boru in certe applicazioni specifiche. Inoltre, u tricloruru di boru hè largamente adupratu in a trasfurmazione di i metalli, l'industria di u vetru, l'analisi chimica è a ricerca di laburatoriu.

Sicurezza di u Tricloruru di Boru

Tricloruru di boruhè currusivu è tossicu è pò causà danni serii à l'ochji è à a pelle. S'idrolizza in aria umida per liberà gasu di cloruru d'idrogenu tossicu. Dunque, devenu esse prese misure di sicurezza adatte quandu si manipula.Tricloruru di boru, cumprese l'usu di vestiti protettivi, occhiali di prutezzione è equipaggiamenti di prutezzione respiratoria, è l'operazioni in un ambiente ben ventilatu.