Gasi misti usati in semiconductor

Epitaxial (crescita)MIX GAs

In a industria semiconduttore, u gasu era cultivatu unu o più strati di materiale per u sustrata di a carica seleziunali hè chjamata gasu è chjamata gas epitaxial.

I gasi epitaxiali solitariamente usati includeanu dichorosilane, silicon tetrachloride èSilane. Principale adupratu per a deposizione di empitaxiale, injunzione di film in silicfora, silitfiu sil interessone è altri fotorietti, etc. materiale di cristallu hè un prucessu di sustrata.

Deposizione di vapore chimicu (CVD) Gas mista

U CVD hè un metudu di dipositu certe elementi è cumposti di riazzioni chimiche di fasa utilizendu cumposti volatili, vale à dì un metudu di furmulariu di film di gas. Sicondu u tippu di film furmatu, a deposizione di u vapore chimicu (CVD) adupratu hè ancu diversu.

DopingGas mista

In fabricazione di dispunibilità semicondtutori è circuiti integrati, certi impurità sò dogundori per dà i materiali chì u prucessu di cummattimentu hà utilizatu in u prucessu di doping hè chjamatu Gas Doping.

Principale include Arsine, Phosphine, Fosforus Trifluorsi, Phosphoracu diruorsi, trossenicu trifluoride, trsenicu pentaplluide,Trifluoriza, Diborane, Etc.

Di solitu, a fonte di doping hè mischju cù un gas di traspurtadore (cum'è l'argon è u nitrogenu) in un cabinet di fonte. Dopu u mischju, u flussu di gasu hè injecta in u furnace di diffusione è circonda di dopanti nantu à a superficia di a lavorazione, è dopu ricuperà i metalli dopati in silicon.

IncrociataMixu di gas

L'ecorda hè di affaccà a superficia di u trasfurmazione (film di metallu, masturba, silitu, maschera di silinguisiu, eccestendu masturbarsi picturata, mentre cum'è pè ottene u mudellu di imaginamentu necessariu.

I metudi di l'Acqua includenu l'equitazione di l'equitazione chimica è secca è secca chimica. U gasu usatu in l'equitazione di u chimicu seccu hè chjamatu gasu di l'equitazione.

U gasu di l'incisione hè di solitu u gasu fluoritu (Halide), cum'ètetra di carbonforiide, VITRA DI TRUFLAORSE, TripluorometHane, HEXFLOORROPANE, effettuO, ecc Etc.


Tempu post: Nov-22-2024