Cloruru d'idrogenuhè un gasu incolore cù un odore acre. A so suluzione acquosa hè chjamata acidu cloridricu, cunnisciutu ancu cum'è acidu cloridricu. U cloruru d'idrogenu hè assai solubile in acqua. À 0 °C, 1 vulume d'acqua pò dissolve circa 500 vulume di cloruru d'idrogenu.

Hà e seguenti proprietà è caratteristiche:

1. Alta purezza

A purità di u gradu elettronicucloruru d'idrogenuhè assai altu, di solitu à ppm o à un livellu più bassu, per assicurà chì nisuna impurità ùn sia introdutta in u prucessu di fabricazione di semiconduttori.

2. Inerzia

Hè un gasu chimicamente inerte chì ùn reagisce micca cù parechje altre sustanze, ciò chì hè assai impurtante per impedisce a contaminazione di materiali è apparecchiature semiconduttori.

3. Alta stabilità

Gradu elettronicucloruru d'idrogenugeneralmente hà una chimica stabile per assicurà un trattamentu affidabile di semiconduttori.

In u trattamentu di semiconduttori, l'applicazioni principali di u cloruru d'idrogenu di qualità elettronica includenu:

1. Pulizia è preparazione di a superficia

Cum'è un detergente di superfici efficace, di qualità elettronicacloruru d'idrogenuhè adupratu per rimuovere l'ossidi è l'impurità da a superficia di u sustratu per assicurà a qualità è a purità di u stratu o di u film epitaxiale.

2. Aiutu per a crescita epitassiale

Adupratu cum'è agente di trattamentu di superficia in u prucessu epitassiale, aiuta à migliurà a qualità di u stratu epitassiale, migliurà a currispundenza di u reticolo è riduce a furmazione di difetti di reticolo.

3. Pretrattamentu di u substratu

Prima di a preparazione di i dispusitivi à semiconduttori, di qualità elettronicacloruru d'idrogenupò esse adupratu per trattà a superficia di u substratu per furmà una basa stabile per migliurà l'adesione trà u stratu epitaxiale è u substratu.

4. Agente ausiliariu di deposizione

In u prucessu di deposizione chimica di vapore (CVD) o di deposizione fisica di vapore (PVD), u cloruru d'idrogenu di qualità elettronica pò esse adupratu cum'è mezu di trasferimentu di fase gassosa per participà à a reazione di deposizione di materiali semiconduttori.

5. Agente di trasferimentu in fase gassosa

Cum'è agente di trasferimentu in fase gassosa, altri precursori gassosi sò introdutti in a camera di reazione per aiutà à aghjustà a velocità di deposizione è l'uniformità di u materiale.

Queste caratteristiche rendenu u gradu elettronicucloruru d'idrogenuun agente di trasfurmazione impurtante in a tecnulugia di i semiconduttori, chì hà un impattu chjave nantu à e prestazioni è l'affidabilità di u dispusitivu finale.

In più di u so usu in a trasfurmazione di semiconduttori, u cloruru d'idrogenu di qualità elettronica pò truvà una varietà d'usi in altri duminii, cumpresi: Preparazione di materiali d'alta purezza, Celle à combustibile, Crescita di materiali semiconduttori, Litografia in fase vapore, Analisi di materiali, Ricerca chimica.

In generale, u gradu elettronicucloruru d'idrogenuhè un gasu versatile è d'alta purezza chì hà una larga gamma d'applicazioni fora di a fabricazione di semiconduttori.