In u prucessu di fabricazione di fundazioni carifiche di rimarchevu cù prucessi di produzzione relativamente avanzate, quasi 50 tippi di gasi sfarenti sò necessarii. I gasi sò generalmente divisi in gasi di ingrossi èGasi speciale.

L'applicazione di gchi in microelettonica è semiconductor industria è semiconductor industria un role impurtante in semicondducatore Da Ulni, TTRP-LCD à l'industria micro-elettromina (M M M MEMS) SEMFICULIERHCARICATURA, INTECTEMENTE PRODUGGMENTAMENTE DI PRODUZIONE, OXIDIATURA, DEPORTURA DI ION, IMPLANDAZIONE DI EON, EC.

Per esempiu, parechji persone sapè chì chips sò fatti da sabbia, ma anu circà tuttu a fabricazione, più materiali sò cielianu, materiale speciale, u gasu speciale, Etc sò indispensabili. Package back-end Pre dumandà ancu iorrati, interposi, quadri di guidati, materiali di ligame, etc. di diversi materiali. I gasi speciali elettronichi sò i second materiali più pegni in i costi di fabbricazione semicurtura dopu à in Silicon Whafers, seguitate da maschere è fotarie.

A purezza di u gas hà una influenza decisiva nantu à u rendimentu di u prestazione cumpunente è u rendimentu di u produttu, è a sicurità di u fornimentu di gas hè ligatu à a salute di u persunale è a sicurità di l'operazione di fabbrica. Perchè a purezza di gas hà un grande impattu in a linea di prucessu è u persunale? Questa hè micca una esagerazione, ma hè determinata da e caratteristiche periculose di u gasu stessu.

Classificazione di gasi cumuni in l'industria semiconductor

Gasu ordinariu

U gasu ordinariu hè ancu chjamatu Gas Bulk: si riferisce à u gasu industriale cù un requisitu di purità più bassa di 5n è un voluminu di vendita è di vendita grande è di vende. Pò esse divisu in u gasu di separazione di l'aria è u gasu sinteticu secondu i metudi di preparazione differenti. Idrogenu (H2), Nitrogenu (n2), ossigenu (o2), argon (A2), ecc.;

Gasu specializatu

U gasu specializatu si riferisce à u gasu industriale chì hè adupratu in campi particulari è hà esigenze speciali di a purità, a varietà è propetà, varietà. PrinciparmentiSih4, Ph3, B2H6, A8H3,Hcl, CF4,Nh3, Pocul3, Sih2cl2, Sihcl3,Nh3, BLC3, SIF4, CLF3, CAT, C2F6, N2O, F2, HF, HBr,Sf6… eccetera.

Tippi di gasi spiciali

Tipi di gasi speciale: corrosive, tossicu, inflamable, combustione, inerte, inerte, etc.
I gasi di semiconduli cumunimenti usati sò classificati cum'è seguente:
(i) corrosivu / tossicu:Hcl, BF3, WF6, HBR, Sih2CL2, NH3, Phili, cl 2,BLC3...
(ii) inflamable: H2,Ch4,Sih4, Ph3, Ash3, Sih2cl2, B2H6, CH2F2, ch3f, CO ...
(iii) combustible: O2, cl2, N2O, NF3 ...
(IV) Inert: N2,Cf4, C2F6,C4f8,Sf6, CO2,Ne,Kr, Ho ...

In u prucessu di semicondecor Chip fatactura, Ogni volta diversi tippi di gasi speciale (si sò usati in iffizione, partitio, è u photo processate. For example, PH3 and AsH3 are used as phosphorus and arsenic sources in the ion implantation process, F-based gases CF4, CHF3, SF6 and halogen gases CI2, BCI3, HBr are commonly used in the etching process, SiH4, NH3, N2O in the deposition film process, F2/Kr/Ne, Kr/Ne in the photolithography process.

Da l'aspetti di quì sopra, pudemu capì chì parechji gasi semiconduttori sò dannosi per u corpu umanu. In particulare, alcuni di i ginici, cum'è Sih4, sò autooscenti. Sempre chì fugavanu, reagiscenu violentamente cù l'ossigenu in l'aria è cumincianu à brusgià; è Ash3 hè altamente tossicu. Qualchese leggera pò causà dannu à a vita di e persone, cusì i requisiti per a sicurità di u disegnu di u sistema di cuntrollu per l'usu di i gasi speciali sò particularmente alti.

I semiconductori anu bisognu di gasi di purità di alta purità per avè "trè gradi"

Purità di gas

U cuntenutu di l'atmosfera d'impurità in u gas hè generalmente espressu cum'è un percentuale di purità di gas, cum'è 99.9999%. In generale Parlà, u requisamentu di a Purità per i gasu speciale elettronicu righjunghji 5n-6n, è hè ancu espressu da u voluminu di u voluminu di l'impruità), ppb (parte per trillion). U campu di semiconduttivu Elettronicu hà i più alti requisiti per a stabilità di purezza è di qualità di gasi speciali, è a purezza di i gasi speciali elettronici hè generalmente più grande di 6n.

Asciutta

U cuntenutu di traccia d'acqua in u gasu, o umidi, hè di solitu spressa in a rugiazione di rugiazione, cume a puntu di rugiada Atmosferica

Pulizia

U numeru di particelle contaminanti in u gasu, particelle cù una dimensione di particella di μm, hè spressu in quantu particelle / m3. Per l'aria cumpressa, hè generalmente spressione in mg / m3 di residui solidi inevitabbile, chì include cuntenutu di l'oliu.