A più grande quantità di gas speciale elettronicu - Nitrogenu trifluoride NF3

U nostru Paese Subiconductor Industria è l'industria di u pannellu mantene un altu livellu di prosperità. Anitrogenu trupluoride, cum'è gas di elettronicu o più grande cumpurtamentu è più più impurtante in a produzzione è a trasfurmazioni di i pannelli è semiconditi, hà un spaziu di mercatu largu.

I gasi d'elettronicu cumunimenti usendu e gasi elettroniche speciali includenuSULPUR HEXAFLUORDE (SF6), Tungsten HexaFluoride (WF6),Tetrafruorii di Carbon (CF4), trifluormestagno (chf3), tripluorside nitrogenu (NF3), heef6) è octafluoroprope (c3f8). Nitrogen Trifluoride (NF3) hè principalmente usatu cum'è una fonte di fluorine per idrogichi fluoridi fluorsidi di gasu A parte efficace (circa 25%) di a energia di reazione tra H2-o2 è F2 pò esse liberati da lasers laser, cusì hf-di lasers tra i lasers chimichi trà i lascioli chamemendi.

U trifluoridu di u nitrogenu hè un gasu di l'inclinazione eccellente in l'industria microelettonica. Per Etichant Nitride è Silicon di tagliu di Nitrogenu hà una tetrafruorsi di u carbone più altu è una tetrafruorsi di carbonia è una mischju di tetrafluoridi è una indigna è ùn hà micca controcculu di carbon. In particulare in l'incisione di materiali di circuitu in intempatu di menu di 1.5um, trifluoriori è una rete di nitrogenu, senza una residenza, ùn lascia micca un oggettu è hè ancu un bonu agente di pulizia. Cù u sviluppu di a Nanotecnologia è u sviluppu à a grande scala di e industria Elettronica, a so dumanda chì aumerà u ghjornu di ghjornu.

Cum'è un tipu di gasu speciale di fluorina, di a trifluoride Nitrogenu (NF3) hè u più grande pruduttu speciale elettronicu in u mercatu. Hè chimicamente inerte à a temperatura ambienti, più attivu di l'ossigenu, più stabile chè u fluoru, è faciule per trattà a temperatura alta.

Nitrogenu trucioride hè principalmente usatu cum'è plasa etching gas è reazzione pulizie di Cleam, adattati per chips di fabriche, fibre di rimorchi, capi ottiche, etc.

In paragera cù altre gasi elettronichi di ficultori, i diseggidi veloci è esempiu di materiali è hè ancu una addestazione, è hè ancu un adduttu di pulizia, è hè micca contaminante à a superficia è pò scuntrà i bisogni di u prucessu di trasfurmazioni.