U gasu speciale elettronicu u più utilizatu - u trifluoruru d'azotu

I gas elettronichi speciali cumuni chì cuntenenu fluoruru includenuesafluoruru di zolfu (SF6), esafluoruro di tungstenu (WF6),tetrafluoruru di carbonu (CF4), trifluorometano (CHF3), trifluoruro d'azotu (NF3), esafluoroetano (C2F6) è ottafluoropropano (C3F8).

Cù u sviluppu di a nanotecnologia è u sviluppu à grande scala di l'industria elettronica, a so dumanda aumenterà ghjornu dopu ghjornu. U trifluoruru d'azotu, cum'è gas elettronicu speciale indispensabile è u più utilizatu in a pruduzzione è a trasfurmazione di pannelli è semiconduttori, hà un vastu spaziu di mercatu.

Cum'è un tipu di gasu speciale chì cuntene fluoru,trifluoruru d'azotu (NF3)hè u pruduttu di gas speciale elettronicu cù a più grande capacità di mercatu. Hè chimicamente inerte à temperatura ambiente, più attivu chè l'ossigenu à alta temperatura, più stabile chè u fluoru, è faciule da manighjà. U trifluoruru d'azotu hè principalmente adupratu cum'è gas di incisione à plasma è agente di pulizia di camera di reazione, è hè adattatu per i campi di fabricazione di chip semiconduttori, schermi piatti, fibre ottiche, cellule fotovoltaiche, ecc.

In paragone cù altri gas elettronichi chì cuntenenu fluoru,trifluoruru d'azotuHà i vantaghji di una reazione rapida è di una alta efficienza. In particulare in l'incisione di materiali chì cuntenenu siliciu cum'è u nitruru di siliciu, hà una alta velocità di incisione è selettività, senza lascià residui nantu à a superficia di l'ughjettu incisu. Hè ancu un agente di pulizia assai bonu è ùn hà micca inquinamentu à a superficia, ciò chì pò risponde à i bisogni di u prucessu di trasfurmazione.