I gasi elettronichi speciali chì cuntenenu fluoru cumuni includenuesafluoruro di zolfo (SF6), esafluoruro di tungstenu (WF6),tetrafluorure di carbone (CF4), trifluoromethane (CHF3), trifluoruri di nitrogenu (NF3), hexafluoroethane (C2F6) è octafluoropropane (C3F8).
Cù u sviluppu di a nanotecnologia è u sviluppu à grande scala di l'industria di l'elettronica, a so dumanda cresce ghjornu per ghjornu. U trifluoridu di azotu, cum'è un gasu elettronicu speciale indispensabile è più grande utilizatu in a produzzione è a trasfurmazioni di pannelli è semiconduttori, hà un largu spaziu di mercatu.
Cum'è un tipu di gasu speciale chì cuntene fluoru,trifluoruri di azotu (NF3)hè u pruduttu elettronicu di gas speciale cù a più grande capacità di u mercatu. Hè chimicamente inerte à a temperatura di l'ambienti, più attivu di l'ossigenu à alta temperatura, più stabile chì u fluoru, è faciule da manighjà. U trifluoruro d'azotu hè principalmente utilizatu cum'è gas di incisione di plasma è agenti di pulizia di a camera di reazione, è hè adattatu per i campi di fabricazione di chips semiconductor, display flat panel, fibre ottiche, cellule fotovoltaiche, etc.
In cunfrontu cù altri gasi elettronichi chì cuntenenu fluoru,trifluoruri di nitrogenuhà i vantaghji di reazione veloce è alta efficienza. In particulare in l'incisione di materiali chì cuntenenu siliciu cum'è nitruru di siliciu, hà un altu tassu di incisione è selettività, senza lasciare residui nantu à a superficia di l'ughjettu incisu. Hè ancu un agentu di pulizia assai bonu è ùn hà micca contaminazione à a superficia, chì ponu risponde à i bisogni di u prucessu di trasfurmazioni.
Tempu di post: 14-Sep-2024
