L'esafluoruru di tungstenu (WF6) hè dipusitatu nantu à a superficia di a cialda per mezu di un prucessu CVD, riempiendu e trincee di interconnessione metallica è furmendu l'interconnessione metallica trà i strati.
Parlemu prima di u plasma. U plasma hè una forma di materia cumposta principalmente da elettroni liberi è ioni carichi. Esiste largamente in l'universu è hè spessu cunsideratu cum'è u quartu statu di a materia. Hè chjamatu statu di plasma, chjamatu ancu "Plasma". U plasma hà una alta cunduttività elettrica è hà un forte effettu di accoppiamentu cù u campu elettromagneticu. Hè un gas parzialmente ionizatu, cumpostu da elettroni, ioni, radicali liberi, particelle neutre è fotoni. U plasma stessu hè una mistura elettricamente neutra chì cuntene particelle fisicamente è chimicamente attive.
A spiegazione simplice hè chì sottu à l'azione di l'alta energia, a molecule supererà a forza di van der Waals, a forza di legame chimicu è a forza di Coulomb, è presenterà una forma di elettricità neutra in tuttu. À u listessu tempu, l'alta energia impartita da l'esternu supera e trè forze sopra menzionate. Funzionalmente, l'elettroni è l'ioni presentanu un statu liberu, chì pò esse adupratu artificialmente sottu a modulazione di un campu magneticu, cum'è u prucessu di incisione di semiconduttori, u prucessu CVD, u prucessu PVD è u prucessu IMP.
Chì ghjè l'alta energia ? In teoria, si pò aduprà sia a RF à alta temperatura sia a RF à alta frequenza. In generale, l'alta temperatura hè guasi impussibile da ottene. Stu requisitu di temperatura hè troppu altu è pò esse vicinu à a temperatura di u sole. Hè praticamente impussibile da ottene in u prucessu. Dunque, l'industria usa di solitu RF à alta frequenza per ottene lu. A RF à plasma pò ghjunghje sin'à 13MHz+.
L'esafluoruru di tungstenu hè plasmatu sottu l'azione di un campu elettricu, è dopu depositatu à vapore da un campu magneticu. L'atomi di W sò simili à e piume d'oca invernali è cascanu in terra sottu l'azione di a gravità. Pianu pianu, l'atomi di W sò depositati in i fori passanti, è infine riempiti cumpletamente per furmà interconnessioni metalliche. In più di deposità l'atomi di W in i fori passanti, saranu ancu depositati nantu à a superficia di a cialda? Iè, sicuramente. In generale, pudete aduprà u prucessu W-CMP, chì hè ciò chì chjamemu u prucessu di macinazione meccanica per rimuovere. Hè simile à aduprà una scopa per spazzà u pianu dopu una forte neve. A neve in terra hè spazzata via, ma a neve in u foru in terra resterà. In giù, più o menu listessu.
Data di publicazione: 24 dicembre 2021
