ElettronicaGasi specialesò un ramu impurtante di gasi speciale. Penetrate quasi ogni ligame di materiale semiconductori è sò indispensibili à a produzzione di l'industria elettroniche cum'è e circuiti integrati di u pannellu

In tecnulugia semiconductor, gasi chì cuntene fluorine sò largamente utilizati. Attualmente in u mercatu di gasu elettronicu globale, cuntenendu i gasi elettronichi per circa 30% di u totale. I gasi elettronichi sò un cumpunente elettronicu sò un cumpunente impurtante di gasi elettronichi speciali in u campu di i materiali d'infurmazioni elettronichi. Sò principalmente utilizati cum'è agenti di pulizia è l'agenti di a pulizia, è si pò esse questi egrenti, materiali di formatura di film, etc. in questu gasi cumunu di fluorighi cumuni.

I seguenti sò i gasi di cuntenimentu di fluorine cumunimenti usati

Nitrogenu Trifluoride (NF3): Un gasu usatu per a pulizia è caccià i dipositi, generalmente usati per i camere di riazzioni è superfici di equipaggiu di pulizia.

SULPUR HEXAFLUORDE (SF6): Un agente fluorinante adupratu in i processi di depositu di l'ossidu è cum'è un gas insulante per riempie i media insulanti.

Fluoridu di Hydrogen (HF): usatu per sguassà l'oxidi da a superficia di u silicu è cum'è un etchant per l'etichetta silicon è altri materiali.

Nitrogen fluoroide (NF): Adulti à i materiali d'etch cum'è in silicon nitride (pin) è nitride d'aluminiu (aln).

Trifluoromethjane (CHF3) Etetraoromete (CF4): Usatu per etch materiali fluoreside cum'è silicon fluoridi è aluminiu fluoridu.

Tuttavia, i gasi di cuntenimentu di fluorine anu certu periculi, cumprese a tossicità, a currosità, è a flammabilità.

Toxicità

Alcune gasi di cuntenimentu di fluorine, cum'è l'idrogenu fluoridi (HF), chì u vapore hè altamente irritante per a pelle è u trattu respiratoriu è dannusu à l'omu.

Corrisività

Idrogen fluoroide è alcuni fluoridi sò altamente corrosivi è ponu causà danni gravi à a pelle, l'ochji è u trattu respiratoriu.

Inflammabile

Certi fluoridi sò inflamabili è reagisce cù l'ossigenu o l'acqua in l'aria per liberà i gasi intensi è tossichi, chì pò causà focu o esplosione.

Periculu di alta pressione

Certi gasi fluorinati sò splusivi sottu alta pressione è esigenu cura speciale quandu hè usatu è almacenatu.

Impattu annantu à l'ambiente

Gasi di cuntenendu fluorini sò alti vigileti atmosferichi è valori gwp, chì anu un effettu distruttivo nantu à a capa d'ozone atmosterica è pò causà a contaminazione di u riscaldamentu glubale è ambientale.

L'applicazione di i gasi in campi emergenti cum'è l'elettronica cuntinua à prufonda, purtendu una grande quantità di nova dumanda per gasi industriali. Basdinatu annantu à a quantità maiò di capacità di nova pruduzzione di grandi cumponenti elettronichi cum'è semicità pannelli per l'indirizzi più realizate, l'industria elettronica userate usate