Elettronicugasi specialisò una branca impurtante di gasi speciali. Penetranu guasi ogni ligame di a pruduzzione di semiconduttori è sò materie prime indispensabili per a pruduzzione di industrie elettroniche cum'è circuiti integrati à scala ultra-larga, dispositivi di visualizazione à pannellu pianu è cellule solari.

In a tecnulugia di i semiconduttori, i gasi chì cuntenenu fluoru sò largamente usati. Attualmente, in u mercatu mundiale di u gasu elettronicu, i gasi elettronichi chì cuntenenu fluoru rapprisentanu circa u 30% di u totale. I gasi elettronichi chì cuntenenu fluoru sò un cumpunente impurtante di i gasi elettronichi speciali in u campu di i materiali d'infurmazione elettronica. Sò usati principalmente cum'è agenti di pulizia è agenti di incisione, è ponu ancu esse aduprati cum'è dopanti, materiali chì formanu film, ecc. In questu articulu, l'autore vi purterà à capisce i gasi cumuni chì cuntenenu fluoru.

I seguenti sò gasi chì cuntenenu fluoru cumunemente usati

Trifluoruru d'azotu (NF3): Un gasu adupratu per a pulizia è a rimuzione di depositi, generalmente adupratu per a pulizia di e camere di reazione è di e superfici di l'apparecchiature.

Esafluoruru di zolfu (SF6)Un agente fluorinante utilizatu in i prucessi di deposizione d'ossidu è cum'è gas isolante per riempie i mezi isolanti.

Fluoruru d'idrogenu (HF): Adupratu per caccià l'ossidi da a superficia di u siliciu è cum'è agente incisore per incidere u siliciu è altri materiali.

Fluoruru d'azotu (NF): Adupratu per incidere materiali cum'è u nitruru di siliciu (SiN) è u nitruru d'aluminiu (AlN).

Trifluorometano (CHF3) ètetrafluorometanu (CF4)Adupratu per incidere materiali fluorurati cum'è u fluoruru di siliciu è u fluoruru d'aluminiu.

Tuttavia, i gasi chì cuntenenu fluoru anu certi periculi, cumpresi a tossicità, a currusività è l'inflammabilità.

Tossicità

Certi gasi chì cuntenenu fluoru sò tossichi, cum'è u fluoruru d'idrogenu (HF), chì u so vapore hè assai irritante per a pelle è e vie respiratorie è dannusu per a salute umana.

Corrosività

U fluoruru d'idrogenu è certi fluoruri sò assai currusivi è ponu causà danni serii à a pelle, à l'ochji è à e vie respiratorie.

Infiammabilità

Certi fluoruri sò inflammabili è reagiscenu cù l'ossigenu o l'acqua in l'aria per liberà un calore intensu è gasi tossichi, chì ponu causà incendi o splusioni.

Periculu d'alta pressione

Certi gas fluorurati sò esplosivi sottu alta pressione è richiedenu una cura particulare quandu sò usati è almacenati.

Impattu nant'à l'ambiente

I gasi chì cuntenenu fluoru anu una durata di vita atmosferica è valori di GWP elevati, chì anu un effettu distruttivu nantu à u stratu d'ozonu atmosfericu è ponu causà u riscaldamentu climaticu è l'inquinamentu ambientale.

L'applicazione di gasi in campi emergenti cum'è l'elettronica cuntinueghja à prufundisce, purtendu una grande quantità di nova dumanda di gasi industriali. Basatu annantu à a grande quantità di nova capacità di pruduzzione di i principali cumpunenti elettronichi cum'è semiconduttori è pannelli di visualizazione in Cina cuntinentale in i prossimi anni, è ancu a forte dumanda di sustituzione di l'impurtazioni di materiali chimichi elettronichi, l'industria naziunale di u gasu elettronicu inaugurerà un altu tassu di crescita.