Elettronicagasi spicialisò un ramu impurtante di gasi spiciali. Penetranu quasi ogni ligame di a produzzione di semiconduttori è sò materie prime indispensabili per a produzzione di l'industrii elettronichi cum'è circuiti integrati ultra-large-scala, dispusitivi di visualizazione di pannellu pianu, è cellule solari.

In a tecnulugia di semiconductor, i gasi chì cuntenenu fluoru sò largamente usati. Attualmente, in u mercatu globale di gasu elettronicu, i gasi elettronichi chì cuntenenu fluoru rappresentanu circa 30% di u totale. I gasi elettronichi chì cuntenenu fluoru sò un cumpunente impurtante di gasi elettronichi spiciali in u campu di i materiali d'informazioni elettroniche. Sò principarmenti usati cum'è agenti di pulizia è incisioni, è ponu ancu esse usatu cum'è dopants, materiali filmati, etc. In questu articulu, l'autore vi purterà à capisce i gasi cumuni chì cuntenenu fluoru.

I seguenti sò cumunimenti usati gasi chì cuntenenu fluoru

Trifluoruro di azotu (NF3): Un gasu utilizatu per a pulizia è a rimozione di i dipositi, generalmente utilizatu per a pulizia di e camere di reazzione è a superficia di l'equipaggiu.

Esafluoruro di zolfo (SF6): Un agentu fluoruratu utilizatu in i prucessi di depositu di l'ossidu è cum'è gasu insulante per riempimentu di media insulating.

Fluoruri d'idrogenu (HF): Adupratu per caccià l'ossidi da a superficia di siliciu è cum'è un incisione per incisione di siliciu è altri materiali.

Fluoruri di azotu (NF): Adupratu per incisione materiali cum'è nitruru di siliciu (SiN) è nitruru d'aluminiu (AlN).

Trifluoromethane (CHF3) ètetrafluoromethane (CF4): Adupratu per incisione materiali fluorurati cum'è u fluoru di silicuu è u fluoru d'aluminiu.

Tuttavia, i gasi chì cuntenenu fluoru anu certi periculi, cumprese a toxicità, a corrosività è a inflammabilità.

Tossicità

Certi gasi chì cuntenenu fluoru sò tossichi, cum'è u fluoru di l'idrogenu (HF), chì u vapore hè assai irritante per a pelle è e vie respiratorie è dannosu per a salute umana.

Corrosività

U fluoru di l'idrogenu è certi fluoruri sò assai corrosivi è ponu causà danni gravi à a pelle, l'ochji è e vie respiratorie.

Infiammabilità

Certi fluoruri sò inflammabili è reagiscenu cù l'ossigenu o l'acqua in l'aria per liberà u calore intensu è i gasi tossichi, chì ponu causà incendi o splusioni.

Periculu d'alta pressione

Certi gasi fluorurati sò splusivi sottu pressione alta è necessitanu cura speciale quandu sò usati è almacenati.

Impattu nantu à l'ambiente

I gasi chì cuntenenu fluoru anu una vita atmosferica elevata è valori GWP, chì anu un effettu distruttivu nantu à a capa d'ozonu atmosfericu è ponu causà riscaldamentu glubale è contaminazione ambientale.

L'applicazione di gasi in i campi emergenti cum'è l'elettronica cuntinueghja à approfondisce, purtendu una grande quantità di nova dumanda di gasi industriali. Basatu nantu à a grande quantità di nova capacità di produzzione di cumpunenti elettronichi maiò cum'è semiconduttori è pannelli di visualizazione in Cina continentale in i prossimi anni, è dinò a forte dumanda per a sostituzione d'impurtazioni di materiali chimichi elettronichi, l'industria di gasu elettronicu domesticu hà da usà. un altu ritmu di crescita.