Chì ghjètetrafluoruru di carbonuÀ chì serve ?
Tetrafluoruru di carbonu, cunnisciutu ancu cum'è tetrafluoromethane, hè cunsideratu cum'è un cumpostu inorganicu. Hè adupratu in u prucessu di incisione à plasma di diversi circuiti integrati, è ancu adupratu cum'è gas laser è refrigerante. Hè relativamente stabile à temperatura è pressione nurmali, ma hè necessariu evità u cuntattu cù ossidanti forti, materiali inflammabili o combustibili. U tetrafluoruru di carbonu hè un gas incombustibile. S'ellu scontra un calore elevatu, farà aumentà a pressione interna di u cuntainer, è ci hè un periculu di screpolatura è splusione. Di solitu pò interagisce solu cù u reagente metallicu ammonia-sodiu liquidu à temperatura ambiente.
Tetrafluoruru di carbonuhè attualmente u più grande gas di incisione à plasma utilizatu in l'industria microelettronica. Pò esse largamente utilizatu in l'incisione di siliciu, diossidu di siliciu, vetru fosfosilicatu è altri materiali à film sottile, pulizia di a superficia di dispositivi elettronichi, pruduzzione di cellule solari, tecnulugia laser, isolamentu in fase gassosa, refrigerazione à bassa temperatura, agenti di rilevazione di perdite è detergenti in a pruduzzione di circuiti stampati anu un gran numeru di applicazioni.
Data di publicazione: 01 di nuvembre di u 2021
